(lazerli ko'rishni tuzatish) va yarimo'tkazgich ishlab chiqarish.
Eksimer molekulasidan lazer emissiyasi uning "jozibali" (assotsiativ) qo'zg'aluvchan holatiga va "repulsiv" (assotsiativ bo'lmagan) asosiy holatga ega bo'lganligi sababli yuzaga keladi, ya'ni molekulalar asosiy holatda mavjud emas. Buning sababi shundaki, ksenon yoki kripton kabi olijanob gazlar juda inertdir va odatda kimyoviy birikmalar hosil qilmaydi. Qo'zg'alganda (elektr zaryadsizlanishi tufayli) ular bir-biri bilan (dimerlar) yoki ftor yoki xlor kabi galogenlar bilan molekulalar hosil qilishi mumkin. Shuning uchun molekulalarning hayajonlangan bog'langan holatda paydo bo'lishi avtomatik ravishda ikki energiya darajasi o'rtasida populyatsiya inversiyasini hosil qiladi. Bunday molekula, hayajonlangan holatda, o'z energiyasidan o'z-o'zidan yoki stimulyatsiya qilingan emissiya shaklida voz kechishi mumkin, buning natijasida molekula asosiy holatga o'tadi va keyin juda tez (pikosekundlar ichida) uning tarkibiy atomlariga parchalanadi.
Garchi atama bo'lsa ham dimer faqat bir xil atomlarning birlashishiga ishora qiladi va eksimer lazerlarning aksariyati asil gazlarning galogenlar bilan aralashmalaridan foydalanadi, bu nom yopishib qolgan va shunga o'xshash dizayndagi barcha lazerlar uchun ishlatiladi.
Eksimer lazerning to'lqin uzunligi ishlatiladigan gazning tarkibiga bog'liq va odatda ultrabinafsha mintaqada joylashgan:
Eksimer lazerlar odatda 1 Gts dan bir necha yuz Gts gacha bo'lgan impulslarning takrorlanish tezligi bilan impulsli rejimda ishlaydi, ba'zi modellarda chastota 2 kHz ga yetishi mumkin; yagona impulslarni hosil qilish ham mumkin. Radiatsiya impulslarining davomiyligi odatda 10 dan 30 ns gacha va energiya birlikdan yuzlab mJ gacha. Bunday lazerlarning kuchli ultrabinafsha nurlanishi ularni jarrohlikda (ayniqsa, ko'z jarrohligida), yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda fotolitografiya jarayonlarida, materiallarni mikroprosesda, LCD panellar ishlab chiqarishda, shuningdek, dermatologiyada keng qo'llash imkonini beradi. Bugungi kunda ushbu qurilmalar juda katta hajmga ega, bu keng tarqalgan tibbiy foydalanish uchun kamchilikdir (qarang: LASIK), ammo zamonaviy ishlanmalar tufayli ularning hajmi doimiy ravishda kamayib bormoqda.
Shuningdek qarang
"Eksimer lazer" maqolasi haqida sharh yozing
Havolalar
- EXCIMER LAZER - Jismoniy ensiklopediya. 5 jildda. - M.: Sovet Entsiklopediyasi. Bosh muharrir A. M. Proxorov. 1988 yil.
- Eksimer lazerlari, ed. C. Rodos, trans. Ingliz tilidan, M., 1981
Eksimer lazerni tavsiflovchi parcha
Balashev hurmat bilan Frantsiya imperatorining fikriga qo'shilmaslikka ruxsat berdi."Har bir davlatning o'z urf-odatlari bor", dedi u.
"Ammo Evropaning hech bir joyida bunday narsa yo'q", dedi Napoleon.
"Janob hazratlarimdan kechirim so'rayman, - dedi Balashev, - Rossiyadan tashqari Ispaniya ham bor, u erda ko'plab cherkovlar va monastirlar mavjud."
Ispaniyada frantsuzlarning yaqinda mag'lubiyatga uchraganiga ishora qilgan Balashevning bu javobi keyinchalik, Balashevning hikoyalariga ko'ra, imperator Aleksandr saroyida yuqori baholangan va hozir, Napoleonning kechki ovqatida juda kam baholangan va e'tiborga olinmagan.
Janob marshallarning befarq va hayajonli yuzlaridan ular hazil nima ekanligini, Balashevning intonatsiyasiga ishora qilganini bilmay hayron bo'lishlari aniq edi. "Agar shunday bo'lsa, biz uni tushunmadik yoki u umuman aqlli emas", dedi marshallarning yuzlaridagi ifodalar. Bu javob shunchalik kam baholandiki, Napoleon buni payqamadi va soddalik bilan Balashevdan Moskvaga qaysi shaharlardan to'g'ridan-to'g'ri yo'l borligini so'radi. Kechki ovqat paytida doimo hushyor bo'lib turgan Balashev, comme tout chemin mene a Rim, tout chemin mene a Moscow, deb javob berdi [xuddi har bir yo'l, maqolga ko'ra, Rimga olib boradi, shuning uchun ham barcha yo'llar Moskvaga olib boradi. ] ko'p yo'llar borligini va bu turli yo'llar orasida Karl XII tanlagan Poltavaga yo'l borligini, - dedi Balashev bu javobning muvaffaqiyatidan beixtiyor zavqlanib. Balashev so'nggi so'zlarni tugatishga ulgurmasidan oldin: "Poltava", Kaulaincourt Sankt-Peterburgdan Moskvaga boradigan yo'lning noqulayligi va Peterburg xotiralari haqida gapira boshladi.
Tushlikdan so'ng biz to'rt kun oldin imperator Aleksandrning idorasi bo'lgan Napoleonning kabinetiga qahva ichishga bordik. Napoleon Sevr kosasidagi qahvaga tegib o‘tirdi va Balashevning kursiga ishora qildi.
Kechki ovqatdan keyin odamda biron bir asosli sababdan ko'ra kuchliroq kayfiyat mavjud bo'lib, u odamni o'zidan mamnun qiladi va barchani o'z do'stlari deb biladi. Napoleon bu lavozimda edi. Nazarida, uni sajda qiladigan odamlar qurshab olgandek tuyuldi. U Balashev kechki ovqatdan keyin uning do'sti va muxlisi ekanligiga amin edi. Napoleon unga yoqimli va biroz istehzoli tabassum bilan o'girildi.
- Bu menga aytganidek, imperator Aleksandr yashagan xona. G'alati, shunday emasmi, general? — dedi u, shubhasiz, bu murojaat suhbatdoshiga yoqmay qolishi mumkin emas, chunki bu uning, Napoleonning Iskandardan ustunligini isbotladi.
Balashev bunga javob bera olmadi va indamay boshini egdi.
"Ha, to'rt kun oldin mana shu xonada Vintsingerode va Shtayn gaplashishdi", deb davom etdi Napoleon o'sha masxara va ishonchli tabassum bilan. "Men tushunolmayman, - dedi u, - imperator Aleksandr mening barcha shaxsiy dushmanlarimni o'ziga yaqinlashtirdi." Men buni tushunmayapman. Men ham shunday qila olaman deb o'ylamaganmidi? — deb savol bilan soʻradi u Balashevga va, shubhasiz, bu xotira uni yana oʻsha tong gʻazabi iziga undadi.
"Va unga shuni aytingki, men buni qilaman", dedi Napoleon va o'rnidan turib, kosasini qo'li bilan itarib yubordi. - Men uning barcha qarindoshlarini Germaniyadan, Virtembergdan, Badendan, Veymardan haydab chiqaraman... ha, haydab chiqaraman. Ularga Rossiyadan boshpana tayyorlasin!
Balashev boshini egib, o'zining tashqi ko'rinishi bilan ta'tilga chiqmoqchi ekanligini ko'rsatdi va faqat unga aytilgan gaplarni tinglamaslik uchun tinglayapti. Napoleon bu ifodani payqamadi; u Balashevga o'z dushmanining elchisi sifatida emas, balki endi unga butunlay bag'ishlangan va sobiq xo'jayinining xo'rlanishidan xursand bo'lishi kerak bo'lgan odam sifatida murojaat qildi.
MSTU im. N.E. Bauman
O'quv va uslubiy qo'llanma
Eksimer lazerlari
N.V. Lisitsin
Moskva 2006 yil
Kirish
1. Nazariy asoslar
1.1 Faol muhit
1.1.2 Inert gaz oksidi lazerlari
1.1.3 Sof asil gazlarning eksimer molekulalariga asoslangan lazerlar
1.1.4 Ikki atomli halogen lazerlar
1.1.5 Metall bug 'lazerlari
1.1.6 Ishchi gazni sovutish, ventilyatsiya qilish va tozalash
1.2 Pompalash
1.2.1 Elektron nurli nasos
1.2.2 Elektr chiqarish nasoslari
1.2.2.1 Bo'shatish davrlari
1.2.2.2 Tez ko'ndalang elektr zaryadsizlanishi bilan nasos
2.2.3 Elektron nur bilan preionlanish bilan elektr razryad bilan nasos
1.2.2.4 Ikki marta elektr razryadli nasos
1.3 Chiqish nurlanish parametrlari
2. Eksimer lazerlarning tijorat modellari
2.1 Lazer LPXPro 305 LAMBDA PHYSIK (Germaniya)
2.2 Laser eX5 BY gam lasers, inc (AQSh)
3. Ilovalar
3.1 Lazerli muhitning fotoliz qo'zg'alishi
3.2 Qisqa to'lqinli nurlanishning hosil bo'lishi
3.2.1 Fotolitografiya
3.2.2 Lazerli jarrohlik. Lazer nurlanish parametrlarini qayta hisoblash misoli
Adabiyot
Kirish
Eksimer lazerlari lazerlarning eng qiziqarli turlaridan biridir. Spektral diapazonda ushbu turga mansub manbalarning emissiyasi 126 nm dan 558 nm gacha bo'lgan diapazonni egallaydi. Bunday qisqa to'lqin uzunligi tufayli eksimer lazer nurlanishi juda kichik nuqtaga yo'naltirilishi mumkin. Ushbu manbalarning quvvati kVt birliklarga etadi. Eksimer lazerlar impulsli manbalardir. Pulsning takrorlanish tezligi 500 Gts gacha yetishi mumkin. Ushbu turdagi lazer juda yuqori kvant rentabelligiga ega va buning natijasida ancha yuqori samaradorlik (2 - 4% gacha).
Bunday noodatiy xususiyatlar tufayli eksimer lazer nurlanishi ko'plab sohalarda va ilovalarda qo'llaniladi. Ular to'qimalarni yoqish zarur bo'lgan operatsiyalarda (irisda va boshqalarda) klinikalarda qo'llaniladi. Ushbu lazerlar asosida elektron bosma platalarni yaratishda materiallarni nozik qirqish uchun mikrofotolitografik qurilmalar yaratilgan. Eksimer lazerlari eksperimental ilmiy tadqiqotlarda keng qo'llanilishini topdi.
Biroq, eksimer lazerlarning barcha bu ajoyib xususiyatlari ularni ishlab chiqarishda va ular asosida qurilmalarni yaratishda ba'zi qiyinchiliklarni keltirib chiqaradi. Masalan, bunday yuqori nurlanish kuchi bilan faol gaz aralashmasida yoy hosil bo'lishining oldini olish kerak. Buning uchun uning zarba muddatini qisqartirish uchun nasos mexanizmini murakkablashtirish kerak. Eksimer lazerlarning qisqa to'lqinli nurlanishi rezonator tuzilmalarida, shuningdek, ularning nurlanishini aylantirish uchun optik tizimlarda maxsus materiallar va qoplamalardan foydalanishni talab qiladi. Shu sababli, ushbu turdagi manbaning kamchiliklaridan biri uning boshqa turdagi lazerlarga nisbatan yuqori narxidir.
1. Nazariy asoslar
1.1 Faol muhit
Eksimer lazerning faol muhiti gaz molekulalaridir. Biroq, CO, CO 2 yoki N 2 lazerlaridan farqli o'laroq, eksimer lazerlarda hosil bo'lish turli tebranish-aylanish holatlari orasidagi o'tishlarda emas, balki molekulalarning turli elektron holatlari o'rtasida sodir bo'ladi. Shunday moddalar mavjudki, ular asosiy holatda molekula hosil qila olmaydi (ularning qo'zg'atmagan holatda zarralari faqat monomer shaklida bo'ladi). Bu moddaning asosiy holati atomlarning o'zaro itarilishiga to'g'ri kelsa, zaif bog'langan yoki bog'langan bo'lsa, lekin katta yadrolararo masofalar mavjud bo'lganda sodir bo'ladi (1-rasm).
1-rasm: a - keskin repulsiv egri; b - tekis egri chiziq; c - katta yadrolararo masofalarda bog'langan holat egri chizig'i
Eksimer lazerlarning ishchi moddasining molekulalarini taxminan ikki turga bo'lish mumkin: bir xil moddaning zarralari va ikki xil moddaning zarralari tomonidan hosil qilingan. Shunga ko'ra, faol ommaviy axborot vositalarining o'zini "eksimerlar" (eksimer, hayajonlangan dimer) va "eksiplekslar" (eksipleks, hayajonlangan kompleks) deb atash mumkin.
Ikki atomli A 2 molekulasining zamin va qo'zg'aluvchan holatlari uchun potentsial energiya egri chiziqlari ko'rsatilgan 2-rasm yordamida eksimer lazerda lasingni olish jarayonini ko'rib chiqish qulay.
Shakl 2. Eksimer lazer energiya darajalari.
Qo'zg'atilgan holatning potentsial energiya egri chizig'i minimal bo'lganligi sababli, A 2 * molekulasi mavjud bo'lishi mumkin. Bu molekula eksimerdir. Qo'zg'atilgan muhitning bo'shashishi jarayonida energiya oqimining ma'lum bir traektoriyasi o'rnatiladi, bu faqat radiatsiya emissiyasi bilan engib o'tilishi mumkin bo'lgan sakrashni o'z ichiga oladi. Agar ma'lum hajmda juda ko'p miqdordagi bunday molekulalar to'plangan bo'lsa, u holda yuqori (bog'langan) va pastki (erkin) darajalar o'rtasidagi o'tishda generatsiyani (rag'batlantirilgan emissiya) - chegarasiz o'tishni olish mumkin.
Ushbu o'tish quyidagi muhim xususiyatlar bilan tavsiflanadi:
Molekula hosil bo'lish natijasida asosiy holatga o'tganda, u darhol dissotsiatsiyalanadi;
Aniq belgilangan aylanish-vibratsiyali o'tishlar mavjud emas va o'tish nisbatan keng polosali hisoblanadi.
Agar populyatsiyaning inversiyasiga erishilmasa, u holda floresans kuzatiladi.
Agar quyi holat kuchsiz bog`langan bo`lsa, u holda bu holatdagi molekulaning o`zi (moyillik) yoki gaz aralashmasining boshqa molekulasi bilan birinchi to`qnashuvi natijasida tez dissotsiatsiyaga uchraydi.
Hozirgi vaqtda lazer generatsiyasi bir qator eksimer komplekslarida - asil gazlarning kvazimolekulalarida, ularning oksidlari va galogenidlarida, shuningdek, metall birikmalarining juftlarida erishilgan. Ushbu faol muhitlarning avlod to'lqin uzunliklari 1-jadvalda keltirilgan.
1-jadval
| Eksimer komplekslari | Asil gazlarning kvazimolekulalari | Asil gazlar oksidlari | Metall ulanishlar juftligi | ||||
| Faol kvazimolekula | Xe 2* | Kr 2* | Ar 2* | ArO* | KrO* | XeO* | CdHg* |
| l gen, nm | 172 | 145,7 | 126 | 558 | 558 | 540 | 470 |
| ∆l, nm | 20 | 13,8 | 8 | 25 | |||
| R imp, MVt (R o'rtacha, Vt) | 75 | 50 | |||||
| t, ns | 10 | 10 | 4-15 | ||||
| Faol kvazimolekula | XeBr* | XeF* | ArF* | ArCl* | XeCl* | KrCl* | KrF* |
| l gen, nm | 282 | 351 | 193 | 175 | 308 | 220 | 248 |
| ∆l, nm | 1 | 1,5 | 1,5 | 2 | 2,5 | 5 | 4 |
| R imp, MVt (R o'rtacha, Vt) | (100) | 3 | 1000 | (0,02) | (7) | 5(0,05) | 1000 |
| t, ns | 20 | 20 | 55 | 10 | 5 | 30 | 55 |
Asil gazlarning kvazmolekulalarini olish uchun o'nlab atmosfera bosimi ostida toza gazlar ishlatiladi; asil gazlar oksidlarini olish uchun - manba gazlarining molekulyar kislorod bilan aralashmasi yoki bir xil bosim ostida 10 000: 1 nisbatda kislorodni o'z ichiga olgan birikmalar; asil gazlarning galogenidlarini olish uchun - ularning 0,1 - 1 MPa umumiy bosimida 10 000: 1 (argon va ksenon uchun) yoki 10: 1 (ksenon yoki kripton uchun) nisbatda halogenlar bilan aralashmasi.
1.1.1 Noyob gazli galoidli lazerlar
Keling, eksimer lazerlarning eng qiziqarli sinfini ko'rib chiqaylik, unda qo'zg'atilgan holatda inert gaz atomi galogen atomi bilan birlashadi, bu esa inert gaz galogenidlarining eksipleksini hosil qiladi. Maxsus misollar orasida UV diapazonida hosil bo'ladigan ArF (l = 193 nm), KrF (l = 248 nm), XeCl (l = 309 nm), XeF (l = 351 nm) kiradi. Nega asil gaz galogenidlari hayajonlangan holatda osongina hosil bo'lishi, agar biz hayajonlangan holatda asil gaz atomlari galogenlar bilan oson reaksiyaga kirishadigan gidroksidi metall atomlariga kimyoviy jihatdan o'xshashligini hisobga olsak, aniq bo'ladi. Bu o'xshatish, shuningdek, qo'zg'aluvchan holatda bog'ning ionli tabiatga ega ekanligini ko'rsatadi: bog'lanish hosil bo'lganda, qo'zg'atilgan elektron inert gaz atomidan galogen atomiga o'tadi. Shuning uchun bunday bog'langan holat zaryad uzatish holati deb ham ataladi.
Inert gazli galogenli lazerlarda fotoabsorbsiya jarayonlari plazma holatiga sezilarli ta'sir ko'rsatadi. Bularga dastlabki galogenning fotodissosiatsiyasi kiradi, undan inert gaz galogenid F 2 + hn → 2F hosil bo'ladi; plazmada hosil bo'lgan manfiy ionning fotoparchalanishi F - + hn → F + e - ; qo'zg'atilgan atomlar va inert gaz molekulalarining fotoionlanishi Ar * + hn → Ar + + e - ; inert gaz ionlarining dimerlarining fotodissosiatsiyasi Ar 2 + + hn → Ar + + Ar. Shuningdek, inert gaz galogenid molekulalarining o'zlarini singdirish.
Inert gaz galogenli lazerlarning faol muhitida fotoabsorbtsiya chiziqli va keng polosali bo'linishi mumkin. Chiziqning yutilishi atom va molekulyar gazlarning, shuningdek, nopoklik molekulalarining parchalanishi yoki elektron eroziyasi natijasida zaryadsizlanish ta'sirida hosil bo'lgan erkin atomlar va radikallarning lazer aralashmasida mavjud bo'lgan bog'langan o'tishlarda sodir bo'ladi. Chiziqni yutish ba'zi hollarda emissiya spektrini sezilarli darajada buzishi mumkinligi ko'rsatilgan, ammo, qoida tariqasida, uning energiyasini sezilarli darajada pasayishiga olib kelmaydi. Keng polosali yutilish, asosan, fotodissotsiatsiya, fotodekolman va fotoionlanish kabi jarayonlarda sodir bo'ladigan bog'liqsiz o'tishlarga bog'liq.
Noyob gaz galoidli eksimer lazerlari odatda elektr zaryadsizlanishi bilan pompalanadi.
Eksimer lazerlarini samarali pompalash, ya'ni. faol muhitga energiya qo'shish nuqtai nazaridan optimal bo'lgan razryadni yaratish hali lazerning yuqori lazerli xususiyatlarini kafolatlamaydi. Unda saqlanadigan yorug'lik energiyasini faol muhitdan ajratib olishni tashkil qilish bir xil darajada muhimdir.
Ushbu maqolada biz eksimer lazerlarning afzalliklarini ko'rib chiqamiz. Bugungi kunda tibbiyot inson tanasining borish qiyin bo'lgan joylarida murakkab kasalliklarni davolash uchun barcha turdagi lazer uskunalarining keng assortimentiga ega. minimal invazivlik va og'riqsizlik ta'siriga erishishga yordam beradi, bu qorin bo'shlig'i operatsiyalari paytida qo'lda amalga oshiriladigan, juda shikastlanadigan, yuqori qon yo'qotish bilan to'la bo'lgan jarrohlik aralashuvlardan, shuningdek, ulardan keyin uzoq muddatli reabilitatsiya qilishdan katta afzalliklarga ega.
Lazer nima?
Lazer - bu tor yorug'lik nurini chiqaradigan maxsus kvant generatori. Lazer qurilmalari energiyani turli masofalarga yuqori tezlikda uzatish uchun ajoyib imkoniyatlar ochadi. Odamning ko'rish qobiliyati bilan idrok etilishi mumkin bo'lgan oddiy yorug'lik turli yo'nalishlarda tarqaladigan kichik yorug'lik nurlaridan iborat. Agar bu nurlar linza yoki oyna yordamida to'plangan bo'lsa, yorug'lik zarralarining katta nurlari olinadi, lekin buni hatto kvant zarralaridan iborat lazer nurlari bilan taqqoslab bo'lmaydi, bunga faqat muhit atomlarini faollashtirish orqali erishish mumkin. bu lazer nurlanishining asosini tashkil qiladi.
Turlari
Butun dunyodagi olimlar tomonidan amalga oshirilgan ulkan ishlanmalar yordamida eksimer lazerlar bugungi kunda inson faoliyatining ko'plab sohalarida keng qo'llaniladi va quyidagi navlarga ega:
Kelib chiqishi
Ushbu turdagi ultrabinafsha, ko'z jarrohligi sohasida keng qo'llaniladi. Shifokorlar ushbu qurilmadan ko'rishni lazer bilan tuzatish uchun foydalanadilar.
"Eksimer" atamasi "hayajonlangan dimer" degan ma'noni anglatadi va uning ishchi suyuqligi sifatida ishlatiladigan material turini tavsiflaydi. SSSRda birinchi marta bunday qurilma 1971 yilda Moskvada olimlar V. A. Danilichev, N. Basov va Yu. M. Popovlar tomonidan taqdim etilgan. Bunday lazerning ishchi suyuqligi ma'lum bir to'lqin uzunligi bilan radiatsiya hosil qilish uchun elektronlar nurlari bilan qo'zg'atilgan ksenon dimer edi. Bir muncha vaqt o'tgach, buning uchun galogenli asil gazlar qo'llanila boshlandi va bu 1975 yilda AQSh tadqiqot laboratoriyalaridan birida olimlar J. Xart va S. Searles tomonidan amalga oshirildi.
Odamlar ko'pincha eksimer lazerlari nima uchun ko'rishni to'g'irlash uchun ishlatilishini so'rashadi.
Uning o'ziga xosligi
Aniqlanishicha, eksimer molekulasi hayajonlangan «jozibali» holatda ham, «itarish» holatida ham hosil qiladi. Bu ta'sirni ksenon yoki kripton (olijanob gazlar) juda inert bo'lishi va qoida tariqasida hech qachon kimyoviy birikmalar hosil qilmasligi bilan izohlash mumkin. Elektr zaryadsizlanishi ularning hayajonlanishiga olib keladi, shuning uchun ular bir-biri bilan yoki xlor yoki ftor kabi galogenlar bilan molekula hosil qilishi mumkin. Molekulalarning hayajonlangan holatda paydo bo'lishi, qoida tariqasida, populyatsiya inversiyasi deb ataladigan holatni keltirib chiqaradi va bunday molekula o'z energiyasidan voz kechadi, u qo'zg'atilgan yoki o'z-o'zidan emissiya. Shundan so'ng, molekula o'zining asosiy holatiga qaytadi va atomlarga parchalanadi. Eksimer lazer qurilmasi noyobdir.
"Dimer" atamasi odatda bir xil atomlar bir-biriga ulanganda qo'llaniladi, ammo zamonaviy eksimer lazerlarning ko'pchiligi asil gazlar va halogenlarning birikmalaridan foydalanadi. Shunga qaramay, shunga o'xshash dizayndagi barcha lazerlar uchun ishlatiladigan bu birikmalar dimerlar deb ham ataladi. Eksimer lazer qanday ishlaydi? Biz buni hozir ko'rib chiqamiz.
Eksimer lazerning ishlash printsipi
Ushbu lazer PRK va LASIKda asosiy o'yinchi hisoblanadi. Uning ishchi suyuqligi inert va halogen gazdir. Bu gazlar aralashmasiga yuqori kuchlanish kiritilganda bitta galogen atomi va bitta inert gaz atomi birlashib, ikki atomli molekulani hosil qiladi. U juda hayajonlangan holatda va soniyaning mingdan bir qismidan keyin atomlarga parchalanadi, bu UV diapazonida yorug'lik to'lqinining paydo bo'lishiga olib keladi.
Eksimer lazerining ishlash printsipi tibbiyotda keng qo'llanilishini topdi, chunki ultrabinafsha nurlanish organik to'qimalarga, masalan, shox pardaga ta'sir qiladi, shunda molekulalar orasidagi bog'lanishlar ajralib chiqadi va bu to'qimalarning qattiq holatdan o'tishiga olib keladi. gazsimon holat. Bu jarayon "fotoablyatsiya" deb ataladi.
To'lqin diapazoni
Ushbu turdagi barcha mavjud modellar bir xil to'lqin uzunligi oralig'ida ishlaydi va faqat yorug'lik nurining kengligida, shuningdek, ishchi suyuqlik tarkibida farqlanadi. Eksimer lazer ko'rishni tuzatish uchun eng ko'p ishlatiladigan lazerdir. Ammo undan foydalanishning boshqa sohalari ham bor.
Birinchisi bug'lanish sodir bo'lgan sirtning diametriga teng bo'lgan yorug'lik nurlarining diametriga ega edi. Nurning keng doirasi va uning heterojenligi shox pardaning yuqori qatlamlarida bir xil heterojenlikka, shuningdek, uning yuzasida haroratning oshishiga olib keldi. Bu jarayon shikastlanish va kuyishlar bilan kechdi. Bu holat eksimer lazerni yaratish orqali tuzatildi. MNTK Eye Microsurgery uni juda uzoq vaqtdan beri ishlatib kelmoqda.
Yangi avlod lazerlari uzoq vaqt modernizatsiya jarayonini boshdan kechirdi, uning davomida yorug'lik nurlarining diametri qisqartirildi va lazer nurlanishini ko'zga etkazish uchun maxsus aylanma skanerlash tizimi yaratildi. Keling, eksimer lazerlari shifokorlar tomonidan qanday qo'llanilishini ko'rib chiqaylik.
Tibbiyotda qo'llanilishi
Ko'ndalang kesimda bunday lazer nuri aylana bo'ylab harakatlanadigan, shox pardaning yuqori qatlamlarini olib tashlaydigan, shuningdek, unga boshqa egrilik radiusini beradigan nuqtaga o'xshaydi. Ablatsiya zonasida harorat ko'tarilmaydi, chunki ta'sir qisqa muddatli. Operatsiya natijasida shox pardaning silliq va tiniq yuzasi kuzatiladi. Eksimer lazer oftalmologiyada ajralmas hisoblanadi.
Operatsiyani amalga oshiruvchi jarroh shox pardaga energiyaning qaysi qismi berilishini, shuningdek, eksimer lazerining qaysi chuqurlikda qo'llanilishini oldindan aniqlaydi. Bu yerdan mutaxassis jarayonning borishini oldindan rejalashtirishi va operatsiya natijasida qanday natija olinishini taxmin qilishi mumkin.
Ko'rishni lazer bilan tuzatish
Oftalmologiyada eksimer lazer qanday ishlaydi? Bugungi kunda mashhur bo'lgan usul inson ko'zining asosiy optik linzalari bo'lgan shox pardani kompyuterda qayta ishlash deb ataladigan narsaga asoslangan. Unda ishlatiladigan eksimer lazer shox pardaning sirtini tekislaydi, yuqori qatlamlarni olib tashlaydi va shu bilan undagi barcha nuqsonlarni yo'q qiladi. Shu bilan birga, ko'zning to'g'ri tasvirlarni olishi uchun normal sharoitlar paydo bo'lib, yorug'likning to'g'ri sinishi yaratiladi. Ushbu muolajadan o'tgan odamlar, dastlab yaxshi ko'rish qobiliyatiga ega bo'lganlar kabi ko'rishadi.
Shox pardani qayta ishlash tartibi uning yuzasida yuqori haroratni keltirib chiqarmaydi, bu esa tirik to'qimalarga zarar etkazishi mumkin. Va, ko'pchilik odamlarning fikriga ko'ra, shox pardaning yuqori qatlamlari deb ataladigan kuyish sodir bo'lmaydi.
Eksimer lazerlarning eng muhim afzalligi shundaki, ulardan ko'rishni to'g'rilash uchun foydalanish ideal natijaga erishish va deyarli barcha mavjud shox parda anomaliyalarini tuzatish imkonini beradi. Ushbu qurilmalar shunchalik aniqki, ular yuqori qatlamlarning "fotokimyoviy ablasyonu" imkonini beradi.
Misol uchun, agar bu jarayon shox pardaning markaziy zonasida amalga oshirilsa, uning shakli deyarli tekis bo'ladi va bu miyopiyani tuzatishga yordam beradi. Agar ko'rishni tuzatish jarayonida periferik zonadagi shox pardaning qatlamlari bug'langan bo'lsa, unda uning shakli yanada yumaloq bo'ladi va bu, o'z navbatida, uzoqni ko'rishni to'g'rilaydi. Astigmatizm shox pardaning turli qismlarida yuqori qatlamlarini dozada olib tashlash orqali tuzatiladi. Ko'zning refraktiv mikroxirurgiyasida keng qo'llaniladigan zamonaviy eksimer lazerlari fotoablyatsiyadan o'tadigan yuqori sifatli sirtlarni kafolatlaydi.
Tibbiyotda foydalanish xususiyatlari
Eksimer lazerlar bugungi kunda paydo bo'lgan shaklda juda yaqinda paydo bo'lgan, ammo ular allaqachon butun dunyodagi odamlarga miyopi, uzoqni ko'ra olmaslik va astigmatizm kabi ko'rish muammolaridan xalos bo'lishga yordam bermoqda. Muammoni hal qilish, bunday uskunani yaratishda ko'p yillar davomida birinchi marta og'riqsiz, maksimal xavfsizlik va samaradorlikning barcha talablariga javob beradi.
Foydalanish orqali davolash mumkin bo'lgan ko'z kasalliklari
Inson ko'zining ushbu anomaliyalarini bartaraf etish bilan shug'ullanadigan oftalmik jarrohlik sohasi refraktsion jarrohlik deb ataladi va bunday buzilishlar ametrop va refraktsion xatolar deb ataladi.
Mutaxassislarning fikriga ko'ra, sinishning ikki turi mavjud:
Ametropiya, o'z navbatida, bir nechta kichik turlarni o'z ichiga oladi:
- miyopi (yaqinni ko'ra olmaslik);
- astigmatizm - shox parda tartibsiz egrilikka ega bo'lganda va yorug'lik nurlarining oqimi uning yuzasining turli qismlarida teng bo'lmaganda ko'z buzilgan tasvirni oladi;
- gipermetropiya (uzoqni ko'ra olmaslik).
Astigmatizmning ikki turi mavjud - gipermetropik, uzoqni ko'rishga yaqin, miyopik, miyopiyaga o'xshash va aralash.
Sinishi manipulyatsiyasining mohiyatini to'g'ri tasavvur qilish uchun inson ko'zining anatomiyasi haqida minimal bilimga ega bo'lish kerak. Ko'zning optik tizimi uchta asosiy elementdan iborat - shox parda, yorug'likni sindiruvchi qismlar bo'lgan linza va yorug'likni qabul qiluvchi qism bo'lgan to'r parda. Olingan tasvir aniq va aniq bo'lishi uchun to'r parda to'pning diqqat markazida bo'ladi. Biroq, agar u uzoqni ko'ra olmaslik bilan sodir bo'ladigan diqqat markazida yoki uning orqasida, miyopi bilan sodir bo'lsa, natijada paydo bo'lgan tasvir noaniq bo'lib, sezilarli darajada xiralashadi.
Odamlarda ko'zning optikasi hayot davomida o'zgarishi mumkin, xususan, tug'ilgan paytdan boshlab 16-20 yoshga qadar, u ko'z olmasining o'sishi va kattalashishi, shuningdek, ko'zning ko'payish ta'siri ostida o'zgaradi. ma'lum anomaliyalarning shakllanishiga olib kelishi mumkin bo'lgan ma'lum omillar. Shunday qilib, ko'zni sindiruvchi jarrohning bemorlari ko'pincha kattalarga aylanadi.
Eksimer nurlari bilan ko'rishni tuzatish protsedurasiga qarshi ko'rsatmalar
Eksimer lazer yordamida ko'rishni tuzatish ko'rish qobiliyati buzilgan barcha odamlar uchun ko'rsatilmaydi. Ushbu protseduradan foydalanish taqiqlanadi:
Foydalanishdan keyin mumkin bo'lgan asoratlar
Bugungi kunda barcha mavjud eksimer lazer bilan davolash usullari juda xavfsiz va ayniqsa samaralidir. Biroq, bunday usullardan foydalangan holda operatsiyadan keyin yuzaga kelishi mumkin bo'lgan bir qator asoratlar mavjud. Bularga quyidagilar kiradi:
- Shox pardaning bir qismining qisman yoki noto'g'ri o'sishi, undan keyin bu qismni qayta o'stirish mumkin emas.
- Bemor ko'zda qizarish va og'riqni boshdan kechirganda, quruq ko'z sindromi deb ataladi. Ushbu asorat, ko'rishni to'g'rilash jarayonida ko'z yoshi ishlab chiqarish uchun mas'ul bo'lgan asab tugunlari shikastlangan hollarda paydo bo'lishi mumkin.
- Turli xil ko'rish buzilishlari, masalan, ikki marta ko'rish yoki qorong'uda ko'rishning pasayishi, rangni idrok etishning buzilishi yoki engil halo paydo bo'lishi.
- Operatsiyadan bir necha oy o'tgach yoki bir necha yil o'tgach sodir bo'lishi mumkin bo'lgan shox pardaning zaiflashishi yoki yumshashi.
Dermatologiyada eksimer lazer
Past chastotali lazerning teriga ta'siri juda ijobiy. Bu quyidagi ta'sirlar tufayli sodir bo'ladi:
- yallig'lanishga qarshi;
- antioksidant;
- og'riq qoldiruvchi vosita;
- immunomodulyator.
Ya'ni, past quvvatga ega lazer nurlanishining ma'lum bir biostimulyatsiya mexanizmi mavjud.
Vitiligo uchun eksimer lazer bilan davolashdan muvaffaqiyatli o'tadi. Teridagi pigmentli dog'lar juda tez tekislanadi.
Eksimer lazer PRK va LASIKning asosiy qahramoni hisoblanadi. U o'z nomini ikki so'z birikmasidan oldi: hayajonli - hayajonli, dimer - qo'sh. Bunday lazerlarning faol tanasi ikkita gaz aralashmasidan iborat - inert va halogen. Gazlar aralashmasiga yuqori kuchlanish qo'llanilganda, inert gaz atomi va galogen atomi ikki atomli gaz molekulasini hosil qiladi. Bu molekula hayajonlangan va nihoyatda beqaror holatda. Bir lahzadan so'ng, soniyaning mingdan bir qismiga ko'ra, molekula parchalanadi. Molekulaning parchalanishi ultrabinafsha diapazonida (odatda 193 nm) yorug'lik to'lqinining chiqarilishiga olib keladi.
Ultrabinafsha nurlanishning organik birikmaga, xususan, shox parda to'qimalariga ta'sir qilish printsipi molekulalararo bog'lanishlarni ajratish va natijada to'qimalarning bir qismini qattiq holatdan gazsimon holatga o'tkazish (fotoablyatsiya). Birinchi lazerlar bug'langan yuzaning diametriga teng nur diametriga ega bo'lib, shox pardaga sezilarli zarar etkazuvchi ta'siri bilan ajralib turardi. Nurning keng profili, uning heterojenligi shox parda yuzasining egriligida heterojenlikni keltirib chiqardi, shox parda to'qimalarining ancha yuqori qizishi (15-20˚), bu shox pardaning kuyishi va xiralashishiga olib keldi.
Jarroh ob'ektga (shox parda) yorug'lik energiyasining qaysi qismi etkazib berilishini oldindan bilganligi sababli, u ablasyon qanday chuqurlikda amalga oshirilishini hisoblashi mumkin. Va u refraktiv jarrohlik jarayonida qanday natijaga erishadi. Va nihoyat, uchinchi ming yillik ostonasida ushbu muammoni hal qilishning yangi usuli paydo bo'ldi - odamlarni miyopiya, astigmatizm va uzoqni ko'ra olmaslikdan xalos qiladigan eksimer lazerli tuzatish. Birinchi marta lazerni tuzatish "yomon" ko'rish qobiliyatiga ega bo'lgan odamning barcha talablariga javob beradi. Ilmiy asoslilik, og'riqsizlik, maksimal xavfsizlik, natijalarning barqarorligi - bu uni tavsiflovchi shartsiz omillardir. Ushbu anomaliyalarni tuzatish bilan shug'ullanadigan oftalmik jarrohlik sohasi refraktiv jarrohlik deb ataladi va ularning o'zlari refraktiv xatolar yoki ametropiya deb ataladi.
Mutaxassislar sinishining ikki turini ajratib ko'rsatishadi:
- Emetropiya- normal ko'rish;
- Ametropiya- anormal ko'rish, shu jumladan bir nechta turlari: miyopi - miyopi; gipermetropiya - uzoqni ko'ra olmaslik, astigmatizm - shox pardaning egriligi tartibsiz va uning turli qismlarida yorug'lik nurlarining yo'li bir xil bo'lmaganda tasvirning buzilishi. Astigmatizm miyopik (yaqinni ko'ra oladigan), gipermetropik (uzoqni ko'ra oladigan) va aralash bo'lishi mumkin. Sinishi aralashuvlarining mohiyatini tushunish uchun keling, ko'zning anatomik fizikasini juda qisqa va sxematik tarzda eslaylik. Ko'zning optik tizimi ikkita tuzilishdan iborat: yorug'likni sindiruvchi qism - shox parda va linza va yorug'likni qabul qiluvchi qism - ma'lum (fokal) masofada joylashgan to'r parda. Tasvir aniq va aniq bo'lishi uchun to'r parda to'pning optik kuchining markazlashtirilgan nuqtasida bo'lishi kerak. Agar to'r parda uzoqni ko'ra olmaslik bilan sodir bo'ladigan fokusning oldida yoki miyopi bilan fokusning orqasida bo'lsa, ob'ektlarning tasviri loyqa va noaniq bo'ladi. Bundan tashqari, tug'ilgan paytdan boshlab 18-20 yoshgacha ko'zning optikasi ko'z olmasining fiziologik o'sishi va ko'pincha ma'lum sinishi xatolarining shakllanishiga olib keladigan omillar ta'siri ostida o'zgaradi. Shuning uchun refraktsion jarrohning bemori ko'pincha 18-20 yoshga to'lgan odamdir.
Eksimer lazerli ko'rishni tuzatish inson ko'zining asosiy optik linzalari - shox pardaning sirtini "kompyuterda qayta ishlash" dasturiga asoslangan. Shaxsiy tuzatish dasturiga ko'ra, sovuq nur shox pardani "tekislaydi", barcha mavjud nuqsonlarni yo'q qiladi. Bu yorug'likning optimal sinishi va yaxshi ko'rish qobiliyatiga ega odamlarda bo'lgani kabi, ko'zda buzilmagan tasvirni olish uchun normal sharoitlarni yaratadi. "Qayta o'zgartirish" jarayoni shox pardaning haroratining halokatli o'sishi bilan birga kelmaydi va ko'pchilik noto'g'ri ishonganidek, "yonish" sodir bo'lmaydi. Va eng muhimi, eksimer lazer texnologiyalari shox pardaning shunday "ideal yangi belgilangan profilini" olish imkonini beradi, bu deyarli barcha turdagi va sinishi xatolik darajasini tuzatishga imkon beradi. Ilmiy nuqtai nazardan, eksimer lazerlar shox parda qatlamlarini zaruriy "fotokimyoviy ablasyon" (bug'lanish) bilan ta'minlaydigan yuqori aniqlikdagi tizimlardir. Agar markaziy zonada to'qimalar olib tashlansa, shox parda tekislanadi, bu esa miyopiyani tuzatadi. Agar siz shox pardaning periferik qismini bug'lantirsangiz, uning markazi keskinroq bo'ladi, bu sizga uzoqni ko'rishni tuzatishga imkon beradi. Shox pardaning turli meridianlarida dozani olib tashlash astigmatizmni tuzatishga imkon beradi. Refraksion jarrohlikda qo'llaniladigan zamonaviy lazerlar "ablatatsiya qilingan" sirtning yuqori sifatini ishonchli tarzda kafolatlaydi.
Eksimer molekulalarining elektron o'tishlari ustida ishlash (faqat elektron qo'zg'aluvchan holatlarda mavjud bo'lgan molekulalar). Potentsial qaramlik Yer elektron holatida bo'lgan eksimer molekulasi atomlarining yadrolararo masofadan o'zaro ta'sir qilish energiyasi monoton kamayuvchi funktsiya bo'lib, u yadrolarning itarilishiga mos keladi. Lazer o'tishning yuqori darajasi bo'lgan qo'zg'aluvchan elektron holat uchun bu bog'liqlik eksimer molekulasining o'zi mavjudligini aniqlaydigan minimal darajaga ega (rasm). Hayajonlangan eksimer molekulasining umri cheklangan
Ezimer molekulasi energiyasining masofaga bog'liqligi R uning tashkil etuvchi atomlari X va Y o'rtasida; Yuqori egri yuqori lazer sathi uchun, pastki egri pastki lazer darajasi uchun. Qiymatlar faol muhitning daromad chizig'ining markaziga, uning qizil va binafsha chegaralariga to'g'ri keladi. uning radiatsiya vaqti. parchalanish. Pastki qismdan beri elektron nurda lazer o'tish holati. eksimer molekulasi atomlarining tarqalishi natijasida vayron bo'ladi, uning xarakterli vaqti (10 -13 - 10 -12 s) nurlanish vaqtidan sezilarli darajada kamroq. vayronagarchilik tepasi, lazer o'tish holatlari, eksimer molekulalarini o'z ichiga olgan gaz faol vosita eksimer molekulasining qo'zg'aluvchan bog'langan va asosiy kengayish shartlari o'rtasidagi o'tishlarda kuchayishi bilan.
E. l.ning faol muhitining asosi. Ular odatda ikki atomli eksimer molekulalaridan iborat - inert gaz atomlarining bir-biri bilan, galogenlar yoki kislorod bilan qisqa muddatli birikmalari. E.ning nurlanish toʻlqin uzunligi l. spektrning ko'rinadigan yoki UV mintaqasiga yaqin joyda yotadi. Lazer o'tishning chiziq kengligini oling E. l. anomal darajada katta bo'lib, bu pastki o'tish muddatining kengayish xususiyati bilan bog'liq. Eng keng tarqalgan elektron nurlar uchun lazer o'tish parametrlarining xarakterli qiymatlari. jadvalda keltirilgan.
Eksimer lazer parametrlari
Faol muhitning optimal parametrlari E. l. eksimer molekulalarini hosil qilish uchun optimal sharoitlarga mos keladi. Inert gazlarning dimerlarini hosil qilish uchun eng qulay sharoitlar 10-30 atm bosim oralig'iga to'g'ri keladi, bunday molekulalarning intensiv shakllanishi hayajonlangan atomlar ishtirokidagi uch marta to'qnashuvlarda sodir bo'ladi:
Bunday yuqori bosimlarda, eng samarali. Nasos energiyasini lazerning faol muhitiga kiritish usuli gaz orqali tez elektronlar nurini o'tkazishni o'z ichiga oladi, bu asosan energiyani yo'qotadi. gaz atomlarini ionlashtirish. Atom ionlarining molekulyar ionlarga aylanishi va keyinchalik molekulyar ionlarning dissotsiativ rekombinatsiyasi 
inert gazning qo'zg'atilgan atomlarini hosil qilish bilan birga, eff imkoniyatini ta'minlaydi. tez elektronlar nurlarining energiyasini eksimer molekulalari energiyasiga aylantirish.Inert gazlarning dimerlari asosidagi lazerlar ~1% samaradorlik bilan tavsiflanadi. Asosiy Ushbu turdagi lazerlarning kamchiliklari juda yuqori zarba qiymatidir. lazer o'tishning qisqa to'lqin uzunligi va shuning uchun daromad chizig'ining kengligi bilan bog'liq bo'lgan pol energiya kiritish. Bu lazer nasos manbai sifatida ishlatiladigan elektron nurlarining xususiyatlariga yuqori talablarni qo'yadi va lazer nurlanishining chiqish energiyasini bir necha martadan yuqori bo'lmagan impulslarni takrorlash tezligida joul fraktsiyalari darajasiga (har bir impulsga) cheklaydi. Hz Nobel gaz dimerlari asosida lazerlarning chiqish xarakteristikalarini yanada oshirish elektron nur pulsining davomiyligi o'nlab nanosekundlar va nurlanish energiyasi ~ kJ bo'lgan elektron tezlatgichlar texnologiyasini ishlab chiqishga bog'liq.
E. l. sezilarli darajada yuqori chiqish xususiyatlariga ega. inert gazlarning monogalidlarida RX*, bu erda X halogen atomidir. Ushbu turdagi molekulalar juft to'qnashuvlar paytida samarali shakllanadi, masalan yoki
Bu jarayonlar atmosfera bosimi tartibidagi bosimlarda ham etarli intensivlik bilan sodir bo'ladi, shuning uchun bunday lazerlarning faol muhitiga energiya kiritish muammosi inert gaz dimerlariga asoslangan lazerlarga qaraganda texnik jihatdan ancha murakkabroq bo'lib chiqadi. Faol muhit E. l. inert gazlarning monogalidlarida bir yoki bir nechtadan iborat. atmosfera va ma'lum miqdordagi (~10 -2 atm) halogen o'z ichiga olgan molekulalarning bosimidagi inert gazlar. Lazerni qo'zg'atish uchun tez elektronlar nurlari yoki impulsli elektr nurlari ishlatiladi. tushirish. Tez elektronlar nuridan foydalanganda lazer nurlanishining chiqish energiyasi bir necha samaradorlik bilan ~ 10 3 J qiymatlarga etadi. foiz va pulsning takrorlanish tezligi 1 Gts dan ancha past. Elektrdan foydalanganda zaryadsizlanishi, pulsdagi lazer nurlanishining chiqish energiyasi joulning bir qismidan oshmaydi, bu atmdagi hajmni anglatuvchi hajm jihatidan bir xil bo'lgan razryadni hosil qilish qiyinligi bilan bog'liq. ~ 10 ns vaqt davomida bosim. Biroq, elektrdan foydalanganda zaryadsizlanishi, yuqori zarba takrorlash tezligiga erishiladi (bir necha kHz gacha), bu keng ko'lamli amaliy qo'llanmalar imkoniyatini ochadi. ushbu turdagi lazerlardan foydalanish. Naib. E. l orasida keng tarqalgan. XeCl lazerini oldi, bu impulsning yuqori takrorlanish tezligi rejimida ishlashning nisbatan soddaligi bilan bog'liq. Cp. Ushbu lazerning chiqish quvvati 1 kVt darajaga etadi.
Yuqori energiya bilan birga. xususiyatlari E. l ning muhim jozibali xususiyati. - faol o'tishning (jadval) daromad chizig'ining o'ta yuqori qiymati. Bu juda keng spektrda to'lqin uzunligini silliq sozlash bilan UV va ko'rinadigan diapazonlarda yuqori quvvatli lazerlarni yaratish imkoniyatini ochadi. Ushbu muammo elektron nurning faol muhitining kuchaytirish chizig'i kengligida to'lqin uzunligi sozlanishi mumkin bo'lgan past quvvatli lazer nurlanishining generatorini va keng polosali kuchaytirgichni o'z ichiga olgan in'ektsiya lazerining qo'zg'alish sxemasi yordamida hal qilinadi. Ushbu sxema chiziq kengligi ~ 10 -3 HM bo'lgan, to'lqin uzunligi bo'ylab ~ 10 HM va undan ko'proq diapazonda sozlanishi lazer nurlanishini olish imkonini beradi.
E. l. yuqori energiya tufayli keng qo'llaniladi. xususiyatlari, qisqa to'lqin uzunligi va uni juda keng diapazonda silliq sozlash imkoniyati. Elektron nurlari bilan qo'zg'atilgan kuchli bir impulsli elektron nurlar termoyadroviy reaktsiyalarni amalga oshirish uchun nishonlarni lazer bilan isitishni o'rganish uchun qurilmalarda qo'llaniladi (masalan, HM bilan KrF lazer, bir impuls uchun chiqish energiyasi 100 kJ gacha, pulsning davomiyligi ~ 1 ns). Texnologiyada impulsli gaz razryadi bilan qo'zg'atilgan, yuqori zarba takrorlash tezligiga ega lazerlar qo'llaniladi. mikroelektronika mahsulotlarini qayta ishlashda, tibbiyotda, lazer izotoplarini ajratish bo'yicha tajribalarda, uning ifloslanishini nazorat qilish uchun atmosferani sezishda, fotokimyoda va tajribalarda. fizika intensiv monoxromatik manba sifatida. UV yoki ko'rinadigan nurlanish.
Lit.: Eksimer lazerlari, ed. C. Rodos, trans. ingliz tilidan, M., 1981; EletskiA. V.. Smirnov B. M., Gaz lazerlarida fizik jarayonlar, M.. 1985 yil. A. V. Eletskiy.
